Les capteurs de pression sont utilisés pour mesurer la pression des liquides et des gaz. Les types courants incluent les capteurs de pression piézorésistifs en silicium MEMS, les capteurs de pression résonants en silicium MEMS, les capteurs de pression capacitifs en céramique, les capteurs de pression capacitifs en métal, les capteurs de pression à couche mince pulvérisée- et les capteurs de pression à jauge de contrainte métallique. Leurs scénarios de fonctionnement varient en fonction du principe de fonctionnement.
Capteur de pression piézorésistif en silicium MEMS :Il s’agit du type de capteur de pression le plus utilisé. Sa plage de mesure principale couvre 15 kPa à 100 MPa, avec une précision typique allant de 0,05 % FS à 3 % FS. La plage de température de fonctionnement est généralement de -55 degrés à 180 degrés. Parce qu'il est compatible avec les processus de fabrication de semi-conducteurs à grande échelle, il est peu coûteux. Pour la mesure de liquides, un emballage isolant rempli d’huile est requis.
Capteur de pression résonant en silicium MEMS : Ce capteur utilise une conception ingénieuse qui convertit la pression en un changement de fréquence de résonance d'un micro-faisceau. Étant donné que la fréquence du faisceau dépend uniquement de sa structure et de sa température, et qu'elle bénéficie d'effets de filtrage, ce capteur atteint une précision de sortie élevée allant jusqu'à 0,01 % FS. Sa plage de mesure de pression principale couvre 100 kPa à 40 MPa, avec une plage de températures de fonctionnement de -55 degrés à 85 degrés. En raison de sa fabrication complexe et de son coût élevé, il convient aux applications exigeant une précision extrêmement élevée, telles que le traitement des semi-conducteurs et la mesure de la profondeur des océans.
Capteur de pression capacitif en céramique :Le matériau céramique offre une excellente résistance à l'usure, ce qui rend ce capteur adapté à la mesure de la pression dans les mélanges sable-bouillie. Il offre également une bonne résistance à la corrosion, permettant la mesure de liquides corrosifs comme l'acide sulfurique. De plus, les capteurs de pression à base de céramique peuvent résister au gel de l'eau-une fonctionnalité impossible à obtenir avec les capteurs MEMS.
Capteur de pression capacitif en métal :Ce capteur utilise un diaphragme métallique comme électrode mobile sensible à la pression, formant un condensateur avec une électrode fixe. Lorsque la pression agit sur le diaphragme, la capacité entre les électrodes change, établissant une relation pression-capacité. Les diaphragmes métalliques peuvent être fabriqués à partir de matériaux résistants à la corrosion tels que l'Inconel et peuvent mesurer de très basses pressions (0–1/10/100/1 000 Torr). Par conséquent, il a de nombreuses applications dans la mesure du vide et la mesure des gaz spéciaux dans l’industrie des semi-conducteurs.
PulvériséThin-filmCapteur de pression et capteur de pression à jauge de contrainte métallique :Les deux capteurs sont dotés d'un matériau sensible à la force recouvert d'une grande surface métallique, ce qui rend le produit robuste et durable. Ils conviennent aux plages de pression élevées et aux applications exigeant une grande fiabilité, telles que les marchandises jaunes, les moteurs diesel et les tunneliers. Ces capteurs ne sont pas faciles à transformer en capteur de pression absolue et peuvent généralement couvrir des plages maximales allant jusqu'à 200 MPa ou plus. La première image ci-dessus montre un noyau de capteur à couche mince pulvérisé-, tandis que la deuxième image montre un noyau de jauge de contrainte métallique.
La sélection d'un capteur de pression doit être basée sur les conditions de fonctionnement réelles pour tirer pleinement parti de ses performances. Mihui Technology se spécialise dans les capteurs de pression basés sur divers principes, offrant des capacités complètes de conception, de production et de fabrication pour fournir aux clients les solutions les plus adaptées. Bienvenue à nous contacter si vous êtes intéressé :Numéro de téléphone : +8618066965135 ; E-mail : mihuitec@gmail.com
