La technologie de mesure du vide est un élément essentiel de la science et de la technologie du vide, avec une demande croissante dans les secteurs de la défense et du civil. Il est particulièrement important de mesurer avec précision la pression du vide. Les jauges à vide sont largement utilisées dans la fabrication industrielle, les équipements semi-conducteurs, l'industrie nucléaire et d'autres domaines. Parmi les fabricants de jauges à vide de renommée mondiale figurent MKS Instruments et INFICON. Il existe deux types courants de vacuomètres en fonction de leurs principes de fonctionnement : l'un est le vacuomètre capacitif métallique, représenté par l'approche technique de MKS, et l'autre est le vacuomètre capacitif en céramique, représenté par l'approche technique d'INFICON. Généralement, les jauges à vide à capacité métallique offrent de meilleures performances que les modèles à capacité céramique, ce qui les rend plus largement adoptées.
L'élément de détection d'une jauge à vide à capacité métallique est constitué d'une structure capacitive formée par un diaphragme métallique d'environ 40 μm d'épaisseur et une électrode en céramique. Comme le montrent les figures ci-dessus, le diaphragme métallique est étiré avec une force de tension importante avant d'être soudé, créant ainsi une structure capable de résister à des pressions de surcharge allant jusqu'à des centaines de fois la plage nominale. Lorsqu'une pression sous vide est appliquée au diaphragme, celui-ci se déforme, modifiant la capacité entre l'électrode du diaphragme métallique et l'électrode en céramique. En mesurant ce changement de capacité et en l'étalonnant par rapport aux références de pression de vide standard, la valeur absolue du vide peut être déterminée. Pour améliorer la précision des mesures, un getter est placé à l’intérieur de la cavité.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. a développé indépendamment la jauge à vide VG750, atteignant des performances comparables à celles des produits MKS et INFICON. Il couvre une plage de mesure de 1 Torr à 1 000 Torr et a été largement adopté dans les applications par lots au sein des industries des semi-conducteurs et du nucléaire. Ses spécifications de performances sont répertoriées dans le tableau ci-dessous. Les parties intéressées sont invitées à nous contacter pour un essai.
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